嗅氧檢查測量儀的檢查測量操作過程有半導體器件操作過程（英國的E2V）、電物理化學檢查測量操作過程、太陽光的紫外光線光法操作過程等。在這主要來簡介的是第三步種步驟，即太陽光的紫外光線光法。

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